表面粗糙度的各项参数评价方法

1. 对原表面进行表面滤波器（S- 滤波器）处理，以获取基础表面。
2. 根据评估内容进一步进行表面滤波器（F- 操作或L- 滤波器）处理，以获取测量表面。
3. 在测量表面上指定评估区域。
4. 获取测量表面对应的基准表面，计算各项参数。

关于滤波器的处理

高斯滤波器

高斯滤波器是利用高斯函数去除干扰的平滑滤波器的一种。在表面粗糙度测量中，采用了根据JIS B 0632:2001（ISO 11562:1996）及ISO 16610-21:2011 规定进行了表面扩展的高斯滤波器。

样条滤波器

样条滤波器是利用样条函数, 插补相邻有效点间的各区间，以求得平滑曲线的滤波器的一种。在表面粗糙度测量中，采用了根据ISO/TS 16610-22:2006 规定的进行了表面扩展的样条滤波器。

S- 滤波器、L- 滤波器的设定

S- 滤波器指定的截断波长

设定为XY 平面（水平）上的测量分辨率3 倍以上的数值。另外，若设定的数值效果较小，则可提高设定值直至去除“ 测量表面”的干扰。若事先进行其他的滤波器处理，也可能无需使用。

L- 滤波器指定的截断波长

由于镜头倍率或触针的顶端直径等难以一并选择，需要根据原表面进行调节。需要将起伏设定为要去除形状的XY 方向长度（周期长度）的5 倍。